本文標題："多種方法觀察分析氧化動力和形貌特征-綜合實驗顯微鏡"
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多種方法觀察分析氧化動力和形貌特征-綜合實驗顯微鏡
x射線光電子能譜(XPS)通過用x射線轟擊樣品產生的光電子得到化
學方面的信息，光電子具有的能量與俄歇電子的相似，所以樣品的檢測
深度與AES相近。但是x射線很難進行微聚焦，所以空間分辨率低于AES
。XPS的優(yōu)勢在于光電子的能量是固體中電子結合能的函數，所以能給
出元素離子化狀態(tài)方面的信息，即，是以基態(tài)還是以氧化物或氮化物的
形式存在等。
另一種有用的分析技術是二次離子質譜(SIMS)，用離子束濺射樣品
表面，并用質譜儀分析濺射出來的離子。SIMS能對表面非常薄的膜進行
精確的化學分析，隨著濺射的進行，可得到樣品的濃度一深度變化曲線
。
以上方法的應用是氧化研究的非常重要的組成部分，現在這方面的
專題會議經常定期舉行。這里要強調指出，氧化機理研究就是恰當應用
上述多種方法觀察分析氧化動力學和形貌特征，然后將結果加以綜合。
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