本文標(biāo)題："粗糙度測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡"
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表面粗糙度儀測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡
大多數(shù)表面都有某種程度的隨機(jī)性，因此需要以統(tǒng)計形式來分
析，在統(tǒng)計學(xué)上用來代表單個輪廓需要的數(shù)據(jù)點數(shù)是很大的，為
了表示一個區(qū)域，要將這個數(shù)平方，以及在數(shù)據(jù)處理和測陬方面
產(chǎn)生了難以解決的問題，曾試圖用光學(xué)方法直接得到表面功率譜
表達(dá)式來解決這個數(shù)據(jù)獲取的問題，但是這種技術(shù)受幾個不利條
件的限制：它假設(shè)表面的統(tǒng)計規(guī)律是平穩(wěn)的和正態(tài)的；它應(yīng)能給
出便于數(shù)據(jù)處理過程的信息形式；它需要用透明物質(zhì)做成的表面
復(fù)制品，以及隨之帶來一些缺欠，廣泛使用的另一種儀器是掃描
電子顯微鏡，它用電子束的櫥格式掃描產(chǎn)生表面的圖象，它的高
分辨率和聚焦深度使它成為研究較光滑表面的極有用的儀器，但
是評定粗糙的表面卻很困難。
缺乏定量的拓?fù)鋱D信息是所有上述技術(shù)的嚴(yán)重缺點，特別是工
程應(yīng)用中所關(guān)心的特性在分布的尺寸范圍內(nèi)可復(fù)蓋許多數(shù)量級的
場合，研究三維空間表面的最可靠的方法仍然是用觸針式儀器在
表面上測得一組線值，本文討論了這個技術(shù)，并敘述了用三維表
面測量的新的完整的自動系統(tǒng)的設(shè)計，結(jié)構(gòu)和使用。
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