本文標(biāo)題："高精度加工三維微裝配微小元件檢測(cè)金相顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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微機(jī)電系統(tǒng)是建立在集成電路工藝基礎(chǔ)上的新興產(chǎn)業(yè)，在它的
發(fā)展初期，主要是利用新的理論制造各種傳感器和生物操作用微探
針，包括壓力傳感器、速度和加速度傳感器、微陀螺、微探針陣列
等。后來(lái)出現(xiàn)的LIGA技術(shù)、各種電化學(xué)加工技術(shù)、超高精度加工技
術(shù)等，拓展了微機(jī)電系統(tǒng)的種類和應(yīng)用領(lǐng)域，特別是在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)
域中的應(yīng)用。相對(duì)于傳統(tǒng)的微器件制造方法，這些技術(shù)最大優(yōu)點(diǎn)是
能制造出真正的三維微器件，而其最大不足是機(jī)械器件不能與
控制電路做在一起，構(gòu)成理想的微機(jī)電系統(tǒng)。要構(gòu)成微機(jī)電系統(tǒng)，
必須采用微裝配技術(shù)，將微器件裝配在一起。
微裝配與傳統(tǒng)的裝配并不一樣，這是因?yàn)槠骷某叽鐪p小后，
它的力學(xué)性質(zhì)發(fā)生了變化。比如，傳統(tǒng)的裝配中，零件的重力占主
導(dǎo)地位，它具有自定位能力，而微機(jī)電系統(tǒng)中的器件，重力的影響
顯著減小，靜電力、表面張力和范德化力占統(tǒng)治地位。這些力不僅
力學(xué)性質(zhì)不清楚，而且會(huì)破壞器件的定位關(guān)系。如在抓一個(gè)這
樣的器件過(guò)程中，手爪沒(méi)有和器件接觸時(shí)，在靜電力和表面張力作
用下，器件會(huì)吸附在手爪上，而當(dāng)手爪張開(kāi)時(shí)，器件也不會(huì)自由釋
放。由于這些力的存在，使得微裝配存在很大的困難，必須采用新
的技術(shù)和理論加以克服。
由于微裝配與微操作是一個(gè)新興的研究領(lǐng)域，許多理論和技術(shù)
仍處于研究中，限于個(gè)人的理解和知識(shí)面，
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