本文標(biāo)題："微型的光學(xué)測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡"
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微型的光學(xué)測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡
在常用的超精密形狀測量法中，利用光干涉的面
形測量法運用的最多。干涉測量法的應(yīng)用前提是必
須要保證基準(zhǔn)元器件的精度，但如何保證其精度是
現(xiàn)在面臨的主要問題之一。而且目前非球面形狀的
干涉測量法仍舊不成熟，這也是現(xiàn)在需要解決的關(guān)
鍵問題之一。鑒于干涉法對振動或環(huán)境的適應(yīng)很弱
的情況下，該測量方法更傾向于大型化的光學(xué)系統(tǒng)
測量，而不是傾向于微型的光學(xué)測量或機械測量。
與此相對應(yīng)的是，掃描測量方法可以實現(xiàn)球面或平
面，以及非球面等多種形狀的簡單在線測量。
一般的， 在掃描測量法中，需先確定好嚴(yán)格的測
量基準(zhǔn)，然后開始對對被測物體進行掃描，以此查
獲得被測量物的相對位置變化或相對角度等。根據(jù)
母性原理，掃描測量法和測量精度由以下兩個因素
決定：
（1）傳感器的檢測精度
（2）掃描基準(zhǔn)的運動精度
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